（1）表面清洗活化PT系列產品

對材料表面進行清洗、活化等，實現大批量和高均勻度的快速高效處理，適用于半導體、LED、MEMS等領域的光刻膠去除，焊錫球黏合前的先進芯片封裝和倒裝芯片的清洗，塑料與金屬的界面強力提高等。

等離子體清洗效果圖

（2）納米改性CPT系列產品

對材料表面進行刻蝕、沉積等，實現大批量和高均勻度的快速高效處理，適用于半導體、OLED、MEMS、毫米波芯片等領域的封裝處理，以及特種塑料與金屬的界面強力提高等。

等離子體納米改性前后的耐腐蝕效果圖

等離子體裝備產品圖